惠龍電加熱裝置工業(yè)用電子管振蕩器用途

　　高頻振蕩器在工業(yè)上多用作加熱裝置，對(duì)各種介質(zhì)、半導(dǎo)體和金屬進(jìn)行干燥、提純、熔煉和熱處理。

　　介質(zhì)加熱的原理是基于處在高頻電場(chǎng)的介質(zhì)能發(fā)熱。例如，可以用高頻加熱塑料，以便進(jìn)行焊接、模壓；用高頻加熱木材，使之干燥。工作頻率在1MHz到50MHz之間，因?yàn)榭侩妶?chǎng)加熱。所以要求較高的高頻電壓。加熱元件是一個(gè)電容器構(gòu)成振蕩回路電容的一部分，待加熱的材料放在這個(gè)電容器的極板間，這種加熱方式能使介質(zhì)內(nèi)部加熱均勻。

　　金屬的加熱是應(yīng)用高頻感應(yīng)加熱。例如，要使金屬表面硬化，就把工件置于槽路線圈產(chǎn)生的高頻電磁場(chǎng)中，電磁場(chǎng)只能透過(guò)金屬表面的一薄層，頻率愈高，透入的深度就愈淺。在電磁波透入的區(qū)域有感應(yīng)電流出現(xiàn)，而產(chǎn)生熱量。因此可以用改變頻率的辦法，來(lái)改變加熱的深度。感應(yīng)加熱也用于金屬的焊接和熔煉。

　　可以把感應(yīng)加熱的工件看成是在短接狀態(tài)下的變壓器的次級(jí)，這就要求槽路線圈（可以看成變壓器的初級(jí)）流過(guò)較大的高頻電流，而高頻電壓倒不一定要高。

　　高頻加熱的對(duì)象是半導(dǎo)體時(shí)，也是采用感應(yīng)加熱，目前使用的半導(dǎo)體加熱設(shè)備有兩種，一種是直接感應(yīng)式的，例如硅區(qū)熔爐、砷化鎵承晶爐等，都是將半導(dǎo)體材料直接置于槽路線圈的高頻磁場(chǎng)中進(jìn)行感應(yīng)加熱。另一種是間接加熱式，例如，硅單晶爐、鍺區(qū)熔爐、砷化鎵單晶爐等是將豐導(dǎo)體材料放入石英坩堝中，然后將它置于加熱器（用石墨、碳化硅、鉬片等導(dǎo)電材料制作）內(nèi)，高頻電磁場(chǎng)將加熱器感應(yīng)加熱，利用加熱器的輻射熱去烘烤半導(dǎo)體材料，使之熔化，這種方式基本上屬于高頻感應(yīng)加熱導(dǎo)體一類(lèi)。